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高湿度实际上减小了无尘车间、洁净室

***和其他生物污染(霉菌，病毒，***，螨虫)在相对湿度超过60%的环境中可以活跃地繁殖。一些菌群在相对湿度超过30%时就可以增长。在相对湿度处于40%至60%的范围之间时，可以使***的影响以及呼吸道降至。 相对湿度在40%至60%的范围同样也是人类感觉舒适的适度范围。湿度过高会使人觉得气闷，而湿度低于30%则会让人感觉干燥，皮肤，呼吸道不适以及情感上的不快。 高湿度实际上减小了无尘车间、洁净室表面的静电荷积累，较低的湿度比较适合电荷的积累并成为潜在的具有***性的静电释放源。当相对湿度超过50%时，静电荷开始迅速消散，但是当相对湿度小于30%时，它们可以在绝缘体或者未接地的表面上持续存在很长一段时间。 相对湿度在35%到40%之间可以作为一个令人满意的折中，半导体无尘车间、洁净室一般都使用额外的控制装置以限制静电荷的积累。 很多化学反应的速度，包括腐蚀过程，将随着相对湿度的而加快。所有暴露在无尘车间、洁净室周围空气中的表面都很快地被覆盖上至少一层单分子层的水。当这些表面是由可以与水反应的薄金属涂层组成时，高湿度可以使反应加速。幸运的是，一些金属，例如铝，可以与水形成一层保护型的氧化物，并阻止进一步的氧化反应;但另一种情况是，例如氧化铜，是不具有保护能力的，因此，在高湿度的环境中，铜制表面更容易受到腐蚀。

车间使用的材料墙面和地板材料必须无尘耐腐蚀耐高温不易断裂不易产生静电，并根据房间的不同工况，但还可以根据实际情况做出选择。

压力和气流为了确保车间的清洁，车间的密封必须坚固，以防止外部污染的气流进入车间。为实现这一目标，研讨会必须保持一定的正压力。为了获得所需的压力，必须补充适当的新鲜空气。

辅助设备应使用一些辅助设备，以确保净化车间的清洁：如净化车间入口处的空气淋浴房。用于交付物品的转移窗口，这些设备必须适合净化车间的净化要求，以充分保证使用不会影响车间和发挥作用。

净化车间人员和物体的控制是无尘车间的主要粉尘来源。当然，生产设备也会产生灰尘，但人和是的灰尘来源。

因此，必须完全控制，例如在进入洁净室之前，所有人都必须穿过敷料，净化浸湿系统，并限制员工数量。物品交付时，必须消毒然后交付，交付必须以正确的方式进行。

净化工程水系统在空调上的设置：

1、冷热源形式，过渡季节冷热源形式说明；

2、加湿说明方式；

3、主要设备安装位置范围说明；

4、新排风百叶位置说明；

5、空调冷热水供水温度、水管接管位置说明；

6、加湿或加热用蒸汽接管位置、蒸汽供给压力说明；

7、空调空气冷凝水、蒸汽冷凝水排放位置说明；

8、生活冷热水供给方式说明；

9、空调机组基础做法及是否在施工范围；

10、风管预留孔洞开孔、封堵要求及是否在施工范围；

11、水管、蒸汽水管、冷凝水管是否在施工范围；

12、新、排风百叶是否在施工范围；

13、热水管配管是否在施工范围；

14、房需设地漏，需做防水，空调机房冬季温度零度以上。